不同的試驗和制備過程需求不同的真空度，一般根據試驗需求來確認所需的真空度。

熱應力：由于爐內溫度散布的不均勻性，真空爐石墨件可能會遭到熱應力的影響，導致開裂或變形。

真空爐石墨件在真空爐中需求承載和支撐爐內物料或工件。這要求真空爐石墨件具有滿足的強度和剛度，以承受高溫文真空環境下的機械應力。

化學穩定性：石墨在真空爐中可能接觸到各種化學物質，包含腐蝕性氣體、熔融金屬等。因而，真空爐石墨件需要具有杰出的化學穩定性，以抵抗這些化學物質的侵蝕和腐蝕。

真空爐的真空度要求應該在10^-5至10^-6的范圍內，即每立方厘米的氣體分子數在這個范圍內

真空爐的真空度對資料的制備質量有著非常重要的影響。

真空爐是一種可以在高溫下制備資料的設備，一般需要在載體（如石英管）內部抽出氣體，以創造一個低壓環境。在真空爐中，真空度是一個非常要害的指標。