1.真空爐膛：這是真空燒結爐進行燒結進程的首要組件，它被規劃成能夠接受高溫和真空條件。
2.加熱元件：擔任提供真空燒結爐所需的高溫。根據詳細應用，可以運用不同類型的加熱元件，包括石墨、鎢或鉬。
3.真空泵：用于在室內產生真空。有不同類型的真空泵，如旋轉葉片泵、擴散泵和分子泵，每種泵具有不同的真空級別和抽氣速度。
4.溫度操控體系：對于操控加熱速率、燒結溫度和冷卻速率至關重要。一般包括熱電偶用于丈量溫度和操控單元用于調整加熱元件的功率。
5.裝料體系：用于裝載和卸載待燒結資料。根據生產進程的巨細和復雜性，可以是手動或主動的。
6.水冷體系：用于冷卻爐殼和真空泵。