1．熱處理廠家冷卻氣體：鋼一般選用百分之99.995純度的N2，高溫合金選用百分之99.999的N2或Ar，鈦合金選用百分之99.995的Ar。
2．工件在真空狀態(tài)下淬火，應(yīng)使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
3．升溫：放入工件后，一般先預(yù)抽至6.67Pa時方可升溫加熱。
4．真空爐的保養(yǎng)應(yīng)在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平常不用時吸氣，吸潮。
5．國內(nèi)真空爐的壓升率應(yīng)不大于1.33Pa/h ，國外某些企業(yè)的規(guī)范為0.67Pa/h。 
6．真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應(yīng)該保持間距。
7．升溫過程中，工件及爐內(nèi)材料會放氣，使真空度下降。
8．真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。
9．真空回火爐應(yīng)該具有快冷設(shè)備。冷卻水的壓力應(yīng)該大于0.2Mpa，流量應(yīng)可調(diào)。
10．真空爐處理鈦合金時，不宜用N2作為冷卻氣體，由于鈦和N在高溫下反應(yīng)，構(gòu)成金黃色的氮化鈦。 
11．真空爐活動銜接部分全部選用O型橡膠圈密封銜接，此部分均通水冷卻。

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