真空氣淬爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空體系、供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛坐落密封爐殼內。依據爐子用處,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有主動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。