真空爐在平時的實驗中如果有液體存在，就需要一個液體蒸騰的進程（高真空下不需要加熱也能氣化），可以通過長期拉真空來氣化掉這部分液體從而達到高真空（等穩定),如果長期都達不到目標氣壓的話，就要考慮體系和羅茨泵了，你可以直接測一下羅茨泵的極限真空（不接入其他體系），若無缺則便是體系的密封功能了。
   (1)水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中間真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為不利的條件下作業，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件應該根據不同的狀況設置水冷設備，以保證真空熱處理爐可以正常運行并有滿足的使用壽命。
   (2)選用低電壓大電流：在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會發生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴峻的會發生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超過80一100伏。一起在電熱元件結構規劃時要采納有效辦法，如盡量防止有頂級的部件，電極間的距離不能太小窄，以防止輝光放電或許弧光放電的發生。
   (3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等要求。對抗氧化功能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些材料在大氣狀態下極易氧化，因而，常規熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
   (4)嚴厲的真空密封：眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，取得和維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的作業真空度，對保證零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，便是要有牢靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空功能，在真空熱處理爐結構規劃中必須道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許防止選用動密封結構，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都必須規劃密封結構。
   (5)自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個乃至幾十個動作來完結。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完結。在這樣迅速的條件來完結許多動作，是很簡單形成操作人員的嚴重而構成誤操作。因而，只有較高的目動化才干精確、及時按程序協調集。