真空回火爐加熱室首要選用全金屬屏結構，變形量少、熱慣性小、適合低溫回火運用、壽命長、易維護。選用鎳帶加熱器、安裝簡便、故障率低。爐內前后均有可活動的隔熱門，加熱時封閉，防止熱量丟失;冷卻時敞開，構成高壓氣流通道，加快冷卻速度。帶有對流加熱設備和快速冷卻設備，升溫時可充入惰性氣體，敞開對流加熱設備，以實現低溫段均勻對流加熱，提高工作效率。快速冷卻系統可有效操控工件變形量，加快工件冷卻。電控系統選用PLC與可編程溫度操控器的方法，實現全自動、半自動、手動三種操控方法，操作靈敏。
首要用于高速鋼、高合金工模具鋼、電工磁性材料、不銹鋼等材料的亮光回火，也可以用于有色金屬的再結晶退火及時效等。