真空爐熱處理工藝的操作流程：
　　1、工件在真空狀態下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽滿蒸氣壓；
　　2、真空爐的保養應在真空或充純氮狀態下，避免平常不用時吸氣，吸潮；
　　3、國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業的規范為0.67Pa/h；
　　4、真空回火爐應該具有快冷設備。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調；
　　5、處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦；
　　6、冷卻氣體：鋼一般選用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金選用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金選用百分之99.995的氬氣；
　　7、真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距；
　　8、升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降；
　　9、升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱；
　　10、真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規處理時加熱溫度相同。