用于真空爐石墨部件的防護辦法
本發明觸及一種用于真空爐石墨部件的防護辦法，該防護辦法包含:
1)對真空爐石墨部件進行拋光打磨,使真空爐石墨部件的表面粗糙度達到0.5mm以下；
2)將拋光打磨后的真空爐石墨部件放入CVD爐內；
3)設定CVD爐內的溫度和壓力，向CVD爐內通入甲烷和氮氣或者通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，終究在石墨部件表面沉積一層熱解石墨涂層或熱解氮化硼涂層。
本發明經過在真空爐石墨部件表面涂覆一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層，一方面可以避免石墨粉塵蒸發出來污染反應腔室，然后提高產品的純凈度；另一方面可以維護真空爐石墨部件，延伸真空爐石墨部件的使用壽命，降低企業本錢。
