真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵系統聯接。真空爐爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。最高溫度可達3000℃左右。首要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。