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真空燒結爐是在抽真空后充氫氣維護狀態下,使用中頻感應加熱的原理,使處于線圈內的鎢坩堝發生高溫,經過熱輻射傳導到工作上,適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結。又分為臥式真空燒結爐和立式真空燒結爐兩種,安裝電爐的場所應符合真空衛生的要求,周圍的空氣應清潔和干燥,并有良好的通風條件,工作場地不易揚起塵埃等。

真空燒結爐首要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體維護燒結及常規燒結,是半導體用設備系列中新穎的工藝配備,它設計構思新穎,操作便利,結構緊湊,在臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。

真空燒結爐


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