真空熱處理爐是在爐腔內把真空技術與熱處理兩個雜糅在一起，是在接近真空或者部分真空的狀況下進行熱處理作業。真空狀況可以依據真空爐要求的不同而劃分為低、中、高和超高真空體系。現在大多數真空熱處理爐的作業真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。
1.低真空體系
低真空體系適用于真空度在2～1333Pa規模的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵。
2.中真空體系
中真空體系適用于真空度在3X10～～1.333Pa規模的真空熱處理爐。中真空體系在真空熱處理爐中使用較為廣泛，其一般由兩級真空泵機組組成。初級泵多選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵或油增壓泵。
3.高真空體系
高真空體系適用于真空度在6.6×10～～1.333 X 10ˉ3Pa規模的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，一般由三級真空泵機組組成，主泵一般選用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵。
