真空熱處理電爐常用的電熱資料主要有如下幾種:
　　1、合金電熱資料:主要是指鐵鉻鋁合金與鎳鉻合金兩種。它們的一起特點是:電阻系數較大，電阻溫度系數較小，耐熱性好，因而，在加熱過程中作業安穩。但在真空下，因為鉻元素的蒸氣壓高，簡單蒸發，所以運用范圍受到必定的約束。一般只能用在中、低溫文中、低真空熱處理爐或外熱式真空熱處理爐上。
　　鎳格合金加工功能好，制造簡單，經高溫加熱不易脆化，便于返修和焊接，具有較好的抗氮氣才能，但抗滲碳才能差。鐵格鋁合金是我國應用廣泛的電熱資料，它具有較強的擾滲碳、耐硫、耐各種碳氮氣體的才能。但其加工功能差，制造較難，經高溫加熱后晶拉變粗，材質變脆，不便于返修和焊接。
　　2、純金屬電熱資料:主要有鉑、相、鎢、鉭等，它們的一起特點是熔點高，抗氧化功能差，只能在真空或維護氣氛下運用。因為它們的電阻系數小，電阻溫度系數大，因而，跟著溫度的變化，爐子功率有很大的變化。為了安穩功率，有必要選用調壓器調節。
　　3、非金屬電熱資料:主要碳化硅、二硅化相和石墨，其功能見下表。因為碳化硅在真空下粘結劑易分解，二硅化鋁在真空下超過1300℃時會軟化，所以，真空熱處理電爐較少選用這兩種電熱資料。石墨具有熱膨脹系數小，加工功能好，耐高沮、耐急冷急熱性好以及價格低廉等長處，但在高溫下石墨與氧親和力很強，所以，應在還原性維護氣氛和真空下運用。現在，石墨已廣泛地應用在真空熱處理電爐上。